真空甩带炉作业指导书
2018-05-11 20:34:14 来源：酷斯特
为了确保真空甩带机正确规范的操作，以保证该设备正常运转特制定本作业指导书。
适用于上海大学材料研究所内所有使用本设备的人员。
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开机：1）开总电源：将对面墙壁上左边的电源闸刀向上拨至“on”；2）开冷却水：将设备后水管总开关扭至与水管平行，并将两个水阀逆时针旋转45°；3）开机械泵：按下机械泵开机电源按钮，等待2分钟，待系统内空气抽净；4）开扩散泵：按下扩散泵开机电源按钮，等待50分钟，待扩散泵预热完全；5）开铜辊电机：按下电机“调速”电源按钮，并按变频器上的“run”一次，运行变频器。（注意：预热时务必确保机械泵和扩散泵阀门处于关闭状态）
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开腔门：将腔体右侧的氩气充气阀顺时针旋转90°，给腔体充氩气使气压表指针指向“0”并关上阀门，然后利用专用扳手松开螺丝并将腔门打开。
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清理内腔：1）顺时针旋转变频器上的变频旋钮至铜辊转速为5m/s；2）用沾有丙酮的纸巾擦拭铜辊外径表面；3）用金相砂纸轻轻擦拭外沿；4）重复第2）步；5）逆时针旋转变频器上的变频旋钮至铜辊转速为“0”；6）用沾有丙酮的纸巾擦拭腔体其他地方。
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安装石英管：1）将石英管架向右移离感应线圈上方；2）将装有样品的石英管开口向上自上而下插入感应线圈内；3）将管架移回感应线圈上方；4）将石英管尽可能地向上置于管架口内并慢慢锁紧石英管；5）旋转管架高度调节旋钮至需要的高度；6）将“V”型板置于离铜辊约1厘米处。
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关腔门：关上腔门，并用扳手紧固螺丝。
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抽真空：1）抽低真空：a) 将机械泵拉杆逆时针旋转一下轻轻外拉至不能拉动再顺时针旋转一下锁定；b) 等待真空表指针为“-0.1”后按下ZDF-2F复合真空计左表头的红色按钮，等待将腔内真空抽至低于中间档3Pa，同时继续紧固腔门上的螺丝。（注意：若超过5分钟未能将真空抽至低于3Pa，请将拉杆按a）步骤所示手法推进2分钟后再拉出）
2）抽高真空：a) 当腔内真空低于3Pa后，将机械泵拉杆推进并顺时针旋转锁定；b) 将扩散泵阀门开关手柄逆时针旋转180°至“开”；c) 当左表头指针低于0.2Pa后，按下右表头上的绿色按钮，并按复位按钮一次运行高真空表；d) 根据情况依次更换量程，查看腔内真空度。（注意：在当前量程内，若指针高于“1”严禁更换到更小量程查看真空度）
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甩带：腔内真空度达到要求后，1）按右表头绿色按扭1次关闭高真空表；2）按左表头红色按钮1次关闭低真空计；3）顺时针转动扩散泵阀门开关手柄至“关”；4）打开氩气充气阀给腔内充气至气压表指示为“-0.05”并关上阀门；5）按下前面板上“充气”至面板上气压表指示为“0.08”并关上按钮；6）调节变频器变频旋钮，使铜辊的转速达到要求；7）打开左侧电感应加热机电源开关；8）左手按住电感应加热机遥控开关不放，观察腔内石英管内样品待样品熔化后，右手迅速按下甩带开关至甩带完成；9）甩带完成后，松开两个开关并放回原处；10）关闭加热机电源开关；11）逆时针调节变频器旋钮至铜辊停止。（注意：务必先关高真空表后关低真空表）
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条带的收集：带条带冷却后，1）打开氩气充气阀至气压表指示为“0”并关上阀门；2）打开前侧腔门及右侧小门；3）松开石英管紧固螺丝；4）旋转管架高度调节按钮至石英管能取出；5）将管架移离感应线圈上方，取出石英管并使管架复位；6）用刷子轻轻扫出条带并置于样品袋内。
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若继续甩带：请重复3~8步骤。
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关机：1）重复3、5步骤；2）按变频器“stop”使变频器关；3）按起“调速”电源按钮；4）按起扩散泵电源按钮；5）拉出机械泵拉杆抽低真空至气压表指示为“-0.1”后在推入拉杆；6）等待一小时后关闭机械泵电源按钮；7）关闭冷却水阀；8）将总电源闸刀拉下至“off”。
清理现场，做好“5S”工作，保持现场整洁。
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